定制的模块化双腔循环加热器可保护多晶硅过程

挑战
多晶硅经常用于制造电子元件和太阳能电池板。 在多晶硅过程中,一种敏感的盐溶液会释放出氢。 过程所需的复杂的氢和蒸汽混合物需要一种三倍溶液: 混合物必须达到并保持 1100ºF (593ºC) 的高温。 高压必须维持在 325 psig。 除了高温和高压以外,也必须维持低流速。 如果这三个要求没有得到满足,这个过程将不会成功,氢将会变脆。 此外,该解决方案需要模块化设计,这样才可以方便地在海外运输和安装。

解决方案
为满足这些过程和设计要求,科模热思专家与 ASME 推出了一款定制的双腔嵌入式循环加热器,该加热器采用高档不锈钢和耐热铬镍铁合金®元件制成,功率密度低,并配备远程安装的控制面板。 科模热思循环加热器是工业气体混合物的理想选择,由于多晶硅过程的敏感性,双腔可支持混合物在一个两阶段的过程内有效加热。 最后,解决方案采用模块化方式设计,因而可以分开发货,然后制造厂组装。

优势

  • 提供创新的模块化和定制解决方案
  • 与客户和美国机械工程师协会建立长期关系
  • 为敏感的多晶硅过程提供一致的温度准确性