Die Herausforderung
Polysilizium wird häufig bei der Herstellung von elektronischen Bauteilen und Solarzellen verwendet. Während des Polysilizium-Verfahrens setzt eine empfindliche Kochsalzlösung Wasserstoff frei. Eine komplizierte, für das Verfahren benötigte Mischung aus Wasserstoff und Wasserdampf erforderte eine Lösung mit drei Vorgaben: Die Mischung muss auf eine hohe Temperatur von 593 ºC erhitzt und dort gehalten werden. Hochdruck muss bei einem Druck von 2,24 MPa gehalten werden. Trotz der hohen Temperatur und des hohen Drucks muss dabei ein niedriger Volumenstrom aufrechterhalten werden. Sind diese drei Voraussetzungen nicht erfüllt, läuft der Prozess nicht erfolgreich ab und der Wasserstoff wird spröde. Darüber hinaus musste die Lösung modular aufgebaut sein, sodass sie leicht transportiert und in anderen Ländern aufgebaut werden kann.

Die Lösung
Um diesen verfahrenstechnischen Anforderungen gerecht zu werden, arbeiteten die Chromalox-Experten mit ASME zusammen, um einen spezialisierten, Doppelkammer-Inline-Umlauferhitzer aus hochwertigem Edelstahl und INCOLOY® Elementen mit geringer Leistungsdichte und einem separaten Bedienfeld zu entwickeln. Chromalox-Umlauferhitzer sind ideal für die Erhitzung industrieller Gasgemische geeignet. Aufgrund der Empfindlichkeit des Polysilizium-Verfahrens konnte die Doppelkammer die Mischung in einem zweistufigen Verfahren effektiv erhitzen. Die Lösung war modular aufgebaut, sodass die Einzelteile separat verschickt und in der Produktionsanlage zusammengebaut werden können.

Die Vorteile

  • Innovative, modulare und kundenspezifische Lösung
  • Langjährige Beziehungen mit dem Kunden und der American Society of Mechanical Engineers
  • Konsequente Temperaturgenauigkeit für empfindliche Polysilizium-Verfahren